软件ETF有哪些值得关注的？它们的 recent performance 如何？ （注：由于“recent performance”是金融领域的常用术语，直接使用以保持问题的真实性和简洁性。若严格要求中文表达，可以调整为：“它们最近表现怎么样？”） 为了更符合您的要求，这里提供一个完全中文的版本： 软件ETF有哪些值得关注的？它们最近表现如何？